南大光电拟募资6.35亿元!投建ArF光刻胶、2000吨/年三氟化氮扩建等项目

11月7日,南大光电发布公告,披露向特定对象发行股票预案。本次发行对象为不超过35名符合证监会规定的特定对象,募集资金总额不超过63,500万元,扣除发行费用后的净额将用于光刻胶项目、扩建2000吨/年三氟化氮生产装置项目、补充流动资金。
(一)光刻胶项目
本项目拟投资 66,000万元,进行 ArF 光刻胶产品开发和产业化工作。项目目标到 2021 年底,将在我国:1)首次建立 ArF 光刻胶产品大规模生产线,形成年产 25 吨 ArF(干式和浸没式)光刻胶产品的生产能力,产品性能满足90nm-14nm 集成电路制造的要求。产品通过 IC 芯片制造企业的使用认证,实现批量销售;2)建立国内第一个专业用于 ArF 光刻胶产品开发的检测评估平台。平台配备 ArF 光刻机、涂胶显影一体机、特征尺寸扫描电镜、缺陷检测和分析等检测设备,满足先进光刻胶产品和技术开发的需求;3)建立一支具有国际水平的先进光刻胶产品开发和产业化队伍。 
本项目的实施单位为子公司宁波南大光电材料有限公司,建设内容包括“先进光刻胶及高纯配套材料的开发和产业化”和“ArF 光刻胶产品的开发和产业化”。 
先进光刻胶及高纯配套材料
的开发和产业化
建设内容为建立光刻胶配套高纯显影液的规模化生产线,包括合成、纯化、分析、灌装等工艺的配套生产装置及分析检测设备;另外还将建设国内首个先进光刻胶分析测试中心,包含浸没式光刻机、涂胶显影一体机和 CD-SEM 等关键量测设备。 
项目完全达产后,将建成光刻胶研发中心、先进光刻胶的分析测试中心,以及年产 350 吨的高纯显影液的生产线。ArF 光刻胶产品的开发和产业化 
建设内容为建立包含高等级超净间在内的 ArF 光刻胶生产线,具备 ArF 光刻胶产品的生产能力;建立 ArF 光刻胶配套关键组分材料的生产能力,完善光刻胶原材料的供应。 
项目完全达产后,将建成年产 5 吨 ArF 干式光刻胶的生产线、年产 20 吨ArF 浸没式光刻胶的生产线以及年产 45 吨的光刻胶配套高纯试剂的生产线。
高端光刻胶长期为国外企业垄断的现状,对我国芯片制造具有“卡脖子”风险,高端光刻胶领域亟待打破外资垄断局面。本次募投项目实施完毕后,南大光电将建成 ArF 光刻胶(干式和浸没式)及相关配套试剂生产线,产品性能满足 90nm-14nm集成电路制造的要求,实现国内高端光刻胶零的突破,实现国产先进光刻胶及配套材料的进口替代,有助于解决高端光刻材料“卡脖子”的问题。
(二)扩建 2000吨/年三氟化氮生产装置项目 
本项目拟投资 30,000万元,扩建 2000 吨/年三氟化氮生产装置项目,包括:5#三氟化氮电解厂房、6#三氟化氮电解厂房、3#三氟化氮后处理厂房。项目的实施主体为山东飞源气体有限公司,实施地点位于山东省淄博市高青化工产业园。项目计划建设期为 2 年,即 2021 年至 2022 年。 
 
 
2019 年 11 月,公司开始布局含氟电子特气业务,完成了对飞源气体的收购。中国厂商是含氟气体生产的重要参与方,飞源气体是全球三氟化氮和六氟化硫主要生产企业之一,在含氟气体产品的制备、充装、安全生产、质量控制、安全运输等方面已取得了全面突破,并通过为国际领先企业批量供货,积累了丰富的市场和客户服务经验。飞源气体下游客户包括台积电、京东方、华星光电、惠科股份、龙腾光电等知名客户,拥有丰富的客户渠道。收购飞源气体后,南大光电增加了含氟电子特气业务板块,对公司电子特种气体业务的布局与发展具有重要的战略价值。 
中国是下游产业半导体、显示面板的消费大国,未来几年下游产业的跨越式增长将积极消化国内产能,大幅提升含氟电子特气的需求,因此国产三氟化氮厂商面临宝贵的发展机遇,三氟化氮生产向国内转移是大势所趋。公司通过本次募投项目的实施,将扩大三氟化氮气体产能,从而深化含氟电子特气领域投资布局,增强对公司集成电路客户的服务能力,扩大公司产品的市场份额,参与含氟电子特气全球竞争,保持公司在电子特气领域的领先地位和市场竞争力。 

评论

◎欢迎参与讨论,请在这里发表您的看法、交流您的观点。
返回顶部