产品名称:三氯氢硅
化学品俗名：硅氯仿
产品分子式:SiHCl3
产品大类:沉积类
产品细类:沉积类
产品规格::
储存方式:
| 产品说明 | 三氯氢硅又称硅氯仿，别名硅仿、三氯硅烷、Trichlorosilane、Silicochloroform。甲硅烷的三氯代物。为一种易流动的无色液体。主要用于多晶硅、单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。 |
| 产品用途 | 主要用于多晶硅、单晶硅原料、外延成长、硅液、硅油、化学气相淀积、硅酮化合物制造、电子气。 |
| 注意事项 | 三氯硅烷有水分时腐蚀性极强。 |
| 应用行业 | 半导体、化工 |
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