全氟丁二烯/C4F6

全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低，绿色环保的高效干蚀刻气体，具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性，更适合于高深宽比的蚀刻工艺。

初合成出来是作为聚合物的单体，但是其聚合物的性能不佳，没有得到进一步的研究和应用。近年对六氟丁二烯的应用研究则主要集中在它作为电子蚀刻气体上。